用測(cè)量顯微鏡測(cè)出被測(cè)要素上各點(diǎn)相對(duì)鋼絲的偏離量，從而得到被測(cè)實(shí)際直線，進(jìn)而評(píng)定被測(cè)要素的直線度誤差。

   用鋼絲法測(cè)導(dǎo)軌直線度誤差的一個(gè)方案。哈默納科雙頻激光諧波CSF-25-80-2UH測(cè)量時(shí)，調(diào)整鋼絲的兩端，使測(cè)量顯微鏡移到兩端點(diǎn)時(shí)的讀數(shù)相等。然后，在被測(cè)導(dǎo)軌的全長(zhǎng)上等距移動(dòng)測(cè)量顯微鏡，并記錄下各位置上的讀數(shù)，這一系列讀數(shù)值描述出導(dǎo)軌由形面構(gòu)成的實(shí)際直線，進(jìn)而可按要求評(píng)定該實(shí)際直線的直線度誤差。

C3>雙頻激光干涉儀測(cè)量用雙頻激光哈默納科雙頻激光諧波CSF-25-80-2UH干涉儀輔之以測(cè)量直線度的光學(xué)組件可以測(cè)某測(cè)量線上的被測(cè)實(shí)際直線，則按一定的布線方式亦可測(cè)出被測(cè)平面上各測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)值;此外，用雙頻激光干涉儀輔之以測(cè)量角度的光學(xué)組件來測(cè)量角度的原理，可測(cè)出被測(cè)表面兩測(cè)點(diǎn)間高度差引起的角度變化，從而計(jì)算出兩點(diǎn)間的高度差。因此，也可像自準(zhǔn)直儀一樣，通過一定的布點(diǎn)方式及測(cè)得值的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換得到被測(cè)實(shí)際平面各測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)值。

   雙頻激光干涉儀測(cè)量平面度比水平儀和自準(zhǔn)直儀測(cè)量直線度的精度更高，若與計(jì)算機(jī)聯(lián)接

通過一定的布點(diǎn)方式及測(cè)得值的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換得到被測(cè)實(shí)際平面各測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)值。

   雙頻激光干涉儀測(cè)量平面度比水平儀和自準(zhǔn)直儀測(cè)量直線度的精度更高，若與計(jì)算機(jī)聯(lián)接